低溫等離子體放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為冷等離子體，也叫非平衡態(tài)等離子體。

  低溫等離子體如果電子的溫度和重粒子溫度差不多，則為熱等離子體，或平衡態(tài)等離子體。低溫等離子體中能量的傳遞大致為：電子從電場(chǎng)中得到能量，通過(guò)碰撞將能量轉(zhuǎn)化為分子的內(nèi)能和動(dòng)能，獲得能量的分子被激發(fā)，與此同時(shí)，部分分子被電離，這些活化了的粒子相互碰撞從而引起一系列復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)。因等離子體內(nèi)富含的大量活性粒子如離子、電子、激發(fā)態(tài)的原子和分子及自由基等，從而為等離子體技術(shù)通過(guò)化學(xué)反應(yīng)處理異味物質(zhì)提供了條件。它是基于放電物理、放電化學(xué)、反應(yīng)工程學(xué)的學(xué)科之上的交叉學(xué)科。近幾十年來(lái)，有關(guān)等離子體技術(shù)的研究非?；钴S，為合成新物質(zhì)、新材料及環(huán)境污染治理等提供了一種新技術(shù)、新方法和新工藝。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。但是，無(wú)論是哪一種高壓放電技術(shù)，都是通過(guò)高壓放電的原理，要充分考慮到易爆問(wèn)題，特別是在易燃易爆的化工場(chǎng)合。