這款 230L 真空等離子設備具備獨特而精良的設計構造。其電源系統(tǒng)采用 380×(1±10%) V (AC) 的電壓，頻率為 50/60Hz，五線配置且電流為 30A，能穩(wěn)定地為設備運行提供動力支持。

腔體由高純度不銹鋼打造而成，這種材質不僅具有高密閉性，有效防止氣體泄漏，還具備良好的耐腐蝕性與穩(wěn)定性，為內部的等離子反應創(chuàng)造了可靠的環(huán)境。電極結構為水平電極，采用鋁制鎖固型設計，在保證電極穩(wěn)固性的同時，有利于等離子體的均勻分布與高效產生。

等離子電源是設備的關鍵部分之一，具備射頻 13.56MHz（0～500W）與中頻 40KHz（0～1000W）兩種模式，可根據不同的工藝需求靈活切換，準確控制等離子體的能量與密度。

真空系統(tǒng)相當完善，油旋片雙極單泵的抽氣速率可達 60m3/h，能將制程壓力維持在 10～80Pa 之間，為等離子反應提供合適的真空環(huán)境。高精度質量流量計量程為 (0～200) SCCM，可精確控制氣體流量。并且標配 1 路氣體接入通道，能夠接入 O2、H2、Ar、ArH2、N2、CF4、CDA 等多種氣體，還可根據需求選配多路，滿足復雜的工藝氣體組合要求。

操作系統(tǒng)采用 PLC 與 7 寸 HMI 觸摸屏相結合的方式，可儲存 50 組配方，方便操作人員快速調用不同的工藝參數。同時，具備手動與自動切換功能，既能滿足工藝調試時的手動精細操作，又能在大規(guī)模生產時實現自動化高效運行。值得一提的是，腔體系統(tǒng)、等離子電源、真空系統(tǒng)均可依據客戶的實際需求進行量身定制與靈活選配，極大地提高了設備的適用性與靈活性，能廣泛應用于多種工業(yè)生產與科研實驗場景。