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產(chǎn)品中心

廖先生
廣東省東莞市大嶺山鎮(zhèn)厚大路大嶺山段348號5號樓201室

60L真空等離子

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真空等離子清洗機適用于印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
參數(shù)型號:ZXW-60L-QXJ
產(chǎn)品參數(shù)
型號:ZXW-60L-QXJ
我知道了
產(chǎn)品詳情

電源系統(tǒng)380×(1±10%)V(AC),50/60Hz,五線,30A

腔體材質(zhì):高純度不銹鋼(高密閉性)

電極結(jié)構(gòu)水平電極(鋁制鎖固型)

等離子電源射頻:13.56MHz(0~500W)/ 中頻:40KHz(0~1000W)

真空系統(tǒng)1油旋片雙極單泵:60m3/h(制程壓力10~80Pa)

          2高精度質(zhì)量流量計(0~200)SCCM

          3標(biāo)配1路(可接O2/H2/Ar/ArH2/N2/CF4/CDA等氣體,可選配多路)

操作系統(tǒng)PLC+7寸HMI觸摸屏(儲存50組配方),手動/自動可切換

備注:腔體系統(tǒng)、等離子電源、真空系統(tǒng)均可根據(jù)客戶實際需求量身定制和選配。


60L真空等離子
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真空等離子清洗機適用于印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。
型號:ZXW-60L-QXJ
18306693796
產(chǎn)品詳情

電源系統(tǒng)380×(1±10%)V(AC),50/60Hz,五線,30A

腔體材質(zhì):高純度不銹鋼(高密閉性)

電極結(jié)構(gòu)水平電極(鋁制鎖固型)

等離子電源射頻:13.56MHz(0~500W)/ 中頻:40KHz(0~1000W)

真空系統(tǒng)1油旋片雙極單泵:60m3/h(制程壓力10~80Pa)

          2高精度質(zhì)量流量計(0~200)SCCM

          3標(biāo)配1路(可接O2/H2/Ar/ArH2/N2/CF4/CDA等氣體,可選配多路)

操作系統(tǒng)PLC+7寸HMI觸摸屏(儲存50組配方),手動/自動可切換

備注:腔體系統(tǒng)、等離子電源、真空系統(tǒng)均可根據(jù)客戶實際需求量身定制和選配。


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