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230L真空等離子
瀏覽器自帶分享功能也很好用哦~電源系統(tǒng)：380×(1±10%)V(AC)，50/60Hz，五線，30A
腔體材質(zhì)：高純度不銹鋼（高密閉性）
電極結(jié)構(gòu)：水平電極（鋁制鎖固型）
等離子電源：射頻：13.56MHz（0～500W）/ 中頻：40KHz（0～1000W）
真空系統(tǒng)：1油旋片雙極單泵：60m3/h（制程壓力10～80Pa）
2高精度質(zhì)量流量計(jì)(0～200)SCCM
3標(biāo)配1路（可接O2/H2/Ar/ArH2/N2/CF4/CDA等氣體，可選配多路）
操作系統(tǒng)：PLC+7寸HMI觸摸屏（儲(chǔ)存50組配方），手動(dòng)/自動(dòng)可切換
備注：腔體系統(tǒng)、等離子電源、真空系統(tǒng)均可根據(jù)客戶實(shí)際需求量身定制和選配。
230L真空等離子
電源系統(tǒng)：380×(1±10%)V(AC)，50/60Hz，五線，30A
腔體材質(zhì)：高純度不銹鋼（高密閉性）
電極結(jié)構(gòu)：水平電極（鋁制鎖固型）
等離子電源：射頻：13.56MHz（0～500W）/ 中頻：40KHz（0～1000W）
真空系統(tǒng)：1油旋片雙極單泵：60m3/h（制程壓力10～80Pa）
2高精度質(zhì)量流量計(jì)(0～200)SCCM
3標(biāo)配1路（可接O2/H2/Ar/ArH2/N2/CF4/CDA等氣體，可選配多路）
操作系統(tǒng)：PLC+7寸HMI觸摸屏（儲(chǔ)存50組配方），手動(dòng)/自動(dòng)可切換
備注：腔體系統(tǒng)、等離子電源、真空系統(tǒng)均可根據(jù)客戶實(shí)際需求量身定制和選配。
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